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Novellus Systems, Inc.

Novellus Systems, Inc.

诺发系统公司(Novellus Systems, Inc.)是一家领先的美国半导体设备专业公司,成立于1984年,总部位于加利福尼亚州圣何塞。公司专注于为集成电路制造提供先进的薄膜沉积和表面处理技术。其核心产品线包括等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统、物理气相沉积(PVD)系统和电化学沉积(ECD)系统。标志性产品系列有VECTOR和INOVA PECVD平台,以及用于铜金属化的SABRE ECD设备。Novellus以其创新技术助力摩尔定律的推进,设备具有高产能和低拥有成本的优势。该公司在介质沉积和铜阻挡层/种子层领域占有重要市场份额,与应用材料公司紧密竞争。2012年,Novellus被泛林集团(Lam Research)收购,其技术整合进泛林的产品组合。此次收购结合了互补产品,巩固了其作为领先晶圆制造设备供应商的地位。该品牌的传承通过泛林在沉积和清洁技术方面的持续创新得以延续。